精密運(yùn)動型toyo滑臺的設(shè)計要求

當(dāng)前，精密加工、檢測或掃描等工業(yè)應(yīng)用中對于微米級精度的直線運(yùn)動型toyo滑臺，具有很大的需求。這些工業(yè)應(yīng)用要求滑臺運(yùn)動系統(tǒng)在精度穩(wěn)定性、往復(fù)運(yùn)動速度以及定位準(zhǔn)確性與快速性等方面具有比較高水平。從精密加工工藝方面來看的話，精密運(yùn)動型toyo滑臺應(yīng)該主要滿足以以幾點(diǎn)基本要求：

一是精密運(yùn)動型toyo滑臺必須具有三維及以上的加工能力。在三維精密運(yùn)動滑臺上增加電機(jī)或運(yùn)動元件即可構(gòu)成多軸平臺系統(tǒng),可以擴(kuò)大此種類型精密運(yùn)動滑臺的適用范圍。

二是精密運(yùn)動型toyo滑臺必須具有高剛性，高加速度。高剛性使滑臺能夠抵抗外界的碰撞而避免產(chǎn)生變形，從而能夠保證滑臺的精度不受到影響，而高加速度可以體現(xiàn)滑臺的優(yōu)良特性，提高所設(shè)計toyo滑臺的應(yīng)用價值。

三是精密運(yùn)動型toyo滑臺必須有較高的重復(fù)定位精度。重復(fù)定位精度是精密運(yùn)動滑臺的一個非常重要的精度指標(biāo)，它受多種因素影響，包括系統(tǒng)特性、系統(tǒng)存在的間隙以及系統(tǒng)的摩擦特性等，對于加工件的質(zhì)量具有重要的影響。

針對上述設(shè)計要求，東佑達(dá)公司的精密運(yùn)動型toyo滑臺采取了立式布局設(shè)計，即由一個直線運(yùn)動模組帶動工件實(shí)現(xiàn)Y方向的運(yùn)動，X方向的運(yùn)動同樣通過直線運(yùn)動模組實(shí)現(xiàn)，Z方向的直線運(yùn)動模組與X方向的直線運(yùn)動模組相疊加構(gòu)成聯(lián)動模組，Z向負(fù)載平臺帶動執(zhí)行部件做豎直方向上的運(yùn)動，由此構(gòu)成精密運(yùn)動型toyo滑臺三個方向上的進(jìn)給運(yùn)動。每個直線運(yùn)動模組都是由直線電機(jī)、反饋元件、直線導(dǎo)軌以及接近傳感器等構(gòu)成，從而實(shí)現(xiàn)精密的微進(jìn)給運(yùn)動。